一、切割能力
加工范围
晶圆尺寸：支持 8-12 英寸（200-300mm）晶圆。
最大工件尺寸：φ300mm（300mm 晶圆兼容）。
切割深度：通过 Z 轴行程实现，最大可达 19.9mm（使用 φ3 英寸刀片时）。
切割速度与精度
切割速度范围：0.1-1,000mm/s，支持高精度低速切割与高效高速切割的灵活切换。
定位精度：±0.003mm/660mm（Y 轴），重复定位精度为 ±0.001mm（Z 轴）。
刀片转速：双主轴配置，转速范围分别为 6,000-60,000rpm（1.8kW 主轴）和 3,000-30,000rpm（2.2kW 主轴），适配不同材料和切割需求。
刀片兼容性
标准刀片直径：支持 φ58mm（2 英寸）和 φ76.2mm（3 英寸）刀片，可根据工艺选择不同厚度和材质的刀片。
刀片寿命监控：内置耗材管理功能，实时监测刀片磨损并提醒更换，降低碎片率。
二、自动化与效率
双工作台设计
配备双 Chuck Table，支持一边切割一边进行上下料、校准和清洗，大幅减少主轴待机时间，提升产能。
各轴返回速度优化，缩短非加工时间，整体吞吐量显著提高。
智能控制系统
搭载 Windows 10 操作系统，支持图形化界面编程和远程监控。
集成视觉识别系统，自动检测晶圆位置和缺陷，实现高精度对准（定位误差 ≤ 0.003mm）。
工艺稳定性
改进真空吸附机制，增强工件固定力，减少晶圆翘曲，确保切割质量。
采用不锈钢防护罩替代传统波纹管，降低碎屑对设备的损害，并配备毛刷单元自动清理碎屑。
